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半導体のための真空技術入門 　

宇津木 勝／著 -- 工業調査会 -- 2007.2 -- 549.8 ／549.8

https://www2.tosyo-saga.jp/kentosyo2/opac/switch-detail.do?bibid=1100200131

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
県立（本館）	新庫２層	/534.9/U96/	114248743	一般図書	利用可	在架

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資料詳細

タイトル	半導体のための真空技術入門
副書名	現場で役立つ基礎と応用
著者	宇津木 勝 ／著
出版者	工業調査会
出版年	2007.2
ページ数	219p
大きさ	21cm
一般件名	半導体 , 真空技術
NDC分類	549.8 ／ 549.8
内容紹介	半導体生産にはじめて携わる装置エンジニア、プロセスエンジニアのための入門書。半導体に関わる真空技術を、できるだけ数式を使わず、かつ論理的、体系的に解説し、用語の語源や由来の説明、計算ではその過程も示す。
ISBN	978-4-7693-1262-8

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