資料詳細

すぐ使える洗浄技術　

工業調査会／編 -- 工業調査会 -- 2001.8 -- 576.5 ／576.5

https://www2.tosyo-saga.jp/kentosyo2/opac/switch-detail.do?bibid=1100289347

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
県立（本館）	大和講堂	/576.5/SU49/	113336887	一般図書	利用可	在架

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資料詳細

タイトル	すぐ使える洗浄技術
副書名	装置・洗浄剤の機能と特徴
著者	工業調査会／編
出版者	工業調査会
出版年	2001.8
ページ数	358p
大きさ	21cm
一般件名	洗浄法
NDC分類	576.5 ／ 576.5
内容紹介	洗浄装置と洗浄剤を中心に、洗浄装置の抱える技術課題や解決方法、装置選定のポイントの他、代表的な洗浄装置、代替洗浄剤について、それぞれ専門技術者が詳細に解説する。半導体・液晶製造現場の代替洗浄の事例も紹介。
ISBN13桁	4-7693-4149-0

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