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光マイクロマシン 貸出可

沢田 廉士／共著 -- オーム社 -- 2002.11 -- 549.95 ／549.95

https://www2.tosyo-saga.jp/kentosyo2/opac/switch-detail.do?bibid=1100546950

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所蔵

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
県立（本館）	大和講堂	/549.9/SA93/	113584932	一般図書	利用可	在架

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資料詳細

タイトル	光マイクロマシン
著者	沢田 廉士 ／共著, 羽根 一博 ／共著, 日暮 栄治 ／共著
出版者	オーム社
出版年	2002.11
ページ数	424p
大きさ	22cm
一般件名	オプトエレクトロニクス , マイクロマシン
NDC分類	549.95 ／ 549.95
内容紹介	半導体微細加工技術の応用により、急速な発展を遂げているマイクロマシン技術。最新の光マイクロマシンを例に、光学を学ぶとともに、根底にある課題の抽出や、新しい光マイクロマシンの提案、設計ができる基礎を学ぶ。
ISBN13桁	4-274-03589-1

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