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薄膜工学 貸出可

金原 粲／監修 -- 丸善 -- 2003.3 -- 549.8 ／549.8


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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
県立（本館） 大和新１ /549.8/SH83/ 113638175 一般図書 利用可 在架 iLisvirtual

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資料詳細

タイトル 薄膜工学
著者 金原 粲 ／監修, 白木 靖寛 ／編著, 吉田 貞史 ／編著  
出版者 丸善
出版年 2003.3
ページ数 310p
大きさ 21cm
一般件名 薄膜
NDC分類 549.8 ／ 549.8
内容紹介 薄膜技術は、非常に基礎的な技術でありながら関係する応用分野が広く、エレクトロニクス技術の最先端を担う技術でもある。薄膜技術の基本事項、最新技術について、産業分野にも生かせる形でわかりやすく解説。
ISBN13桁 4-621-07143-2

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