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センサ・マイクロマシン工学 貸出可

藤田 博之／編著 -- オーム社 -- 2005.10 -- 501.22 ／501.22

https://www2.tosyo-saga.jp/kentosyo2/opac/switch-detail.do?bibid=1100760846

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所蔵

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
県立（本館）	大和新１	/501.2/F67/	114067648	一般図書	利用可	在架

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資料詳細

タイトル	センサ・マイクロマシン工学
叢書名	EE text
著者	藤田 博之 ／編著
出版者	オーム社
出版年	2005.10
ページ数	8,209p
大きさ	26cm
一般件名	センサ , マイクロマシン
NDC分類	501.22 ／ 501.22
内容紹介	センサとマイクロマシンに関して、その動作原理やつくり方からさまざまな応用に至るまでをわかりやすくまとめた教科書。センサとマイクロマシンをつくる基盤技術、半導体技術を拡張した微細加工法についても述べる。
ISBN13桁	4-274-20134-1

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