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電子線リソグラフィ教本 貸出可

横山 浩／監修 -- オーム社 -- 2007.6 -- 549.7 ／549.7

https://www2.tosyo-saga.jp/kentosyo2/opac/switch-detail.do?bibid=1101023094

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所蔵

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
県立（本館）	大和新１	/549.7/Y79/	114281892	一般図書	利用可	在架

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資料詳細

タイトル	電子線リソグラフィ教本
著者	横山 浩 ／監修, 秋永 広幸 ／編
出版者	オーム社
出版年	2007.6
ページ数	13,210p
大きさ	21cm
一般件名	リソグラフィー , 電子線
NDC分類	549.7 ／ 549.7
内容紹介	「産学連携製造中核人材育成事業」の育成プログラム「電子線リソグラフィ」カリキュラムをもとに構築した実践的なテキスト。電子線リソグラフィの概要、電子線の制御方法や描画技術、レジストなどについて解説。
ISBN	978-4-274-20415-9

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