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世界をリードする半導体共同研究プロジェクト 　

垂井 康夫／編著 -- 工業調査会 -- 2008.12 -- 549.8 ／549.8

https://www2.tosyo-saga.jp/kentosyo2/opac/switch-detail.do?bibid=1101171038

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所蔵

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
県立（本館）	新庫２層	/549.8/TA91/	114625122	一般図書	利用可	在架

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資料詳細

タイトル	世界をリードする半導体共同研究プロジェクト
副書名	日本半導体産業復活のために
著者	垂井 康夫 ／編著
出版者	工業調査会
出版年	2008.12
ページ数	318p
大きさ	21cm
一般件名	半導体
NDC分類	549.8 ／ 549.8
内容紹介	通産省が1975～1980年に行ったプロジェクト「超LSI共同研究所」とそれ以降の主な研究プロジェクトをレビュー。特に製造装置に重点をおいた効果を考え、その後の研究にどのように生かされてきたかなどを検証する。
ISBN	978-4-7693-1277-2

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