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図解半導体製造装置開発の極意と実践 貸出可

辻村 学／著 -- 工業調査会 -- 2008.12 -- 549.8 ／549.8


https://www2.tosyo-saga.jp/kentosyo2/opac/switch-detail.do?bibid=1101171041

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
県立（本館） 新庫２層 /549.8/TS44/ 114625254 一般図書 利用可 在架 iLisvirtual

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タイトル 図解半導体製造装置開発の極意と実践
副書名 開発型企業で生き抜くための手引書
著者 辻村 学 ／著  
出版者 工業調査会
出版年 2008.12
ページ数 188p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
NDC分類 549.8 ／ 549.8
内容紹介 半導体製造用装置の開発及び事業に携わってきた著者が、30年間の開発の歴史の中で実施した5つの革命技術や、開発の5つのルール、特許と論文の書き方などを伝授する。
ISBN 978-4-7693-1278-9

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