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薄膜工学 貸出可

金原 粲／監修 -- 丸善出版 -- 2011.6 -- 549.8 ／549.8

https://www2.tosyo-saga.jp/kentosyo2/opac/switch-detail.do?bibid=1101434825

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所蔵

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
県立（本館）	新庫２層	/549.8/Y86/	114974512	交付金	利用可	在架

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資料詳細

タイトル	薄膜工学
著者	金原 粲 ／監修, 吉田 貞史 ／編著, 近藤 高志 ／編著, 日本学術振興会薄膜第131委員会 ／編集企画
出版者	丸善出版
出版年	2011.6
ページ数	12,295p
大きさ	21cm
一般件名	薄膜
NDC分類	549.8 ／ 549.8
内容紹介	薄膜技術の基本事項から、微細加工技術を用いた2次元・3次元微細構造の導入や基板の大型化・高速化を可能にした装置技術、新しい薄膜作製手法、原子・分子スケールでの測定技術まで、分かりやすく解説する。
ISBN	978-4-621-08414-4

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