上條 榮治/監修 -- シーエムシー出版 -- 2011.9 -- 501.48 /501.48


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所蔵

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
県立(本館) 新庫2層 /501.4/KI46/ 115008666 一般図書 利用可 在架 iLisvirtual

資料詳細

タイトル 機能性無機膜
副書名 開発技術と応用
叢書名 [CMCテクニカルライブラリー]
著者 上條 榮治 /監修  
出版者 シーエムシー出版
出版年 2011.9
ページ数 7,305p
大きさ 21cm
一般件名 非金属材料 , 無機化学 , 薄膜
NDC分類 501.48 / 501.48
内容紹介 無機材料薄膜に焦点を当て、乾式法のみでなく湿式法も含めた薄膜製造プロセス技術、製造装置技術、薄膜評価技術、応用技術について解説する。関連するトピックスも収録。
ISBN 978-4-7813-0359-8

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