大和田 邦樹/監修 -- シーエムシー出版 -- 2012.2 -- 547.54 /547.54


https://www2.tosyo-saga.jp/kentosyo2/opac/switch-detail.do?bibid=1101495584

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
県立(本館) 新庫2層 /547.5/A79/ 115074981 一般図書 利用可 在架 iLisvirtual

資料詳細

タイトル RF MEMS技術の応用展開
叢書名 [CMCテクニカルライブラリー]
著者 大和田 邦樹 /監修  
出版者 シーエムシー出版
出版年 2012.2
ページ数 6,224p
大きさ 21cm
一般件名 無線通信機器 , マイクロマシン
NDC分類 547.54 / 547.54
内容紹介 低損失なRFスイッチやRFバラクタを実現できる技術として注目されているRF MEMS。その開発の歴史や応用分野、技術の特徴などの概要を示すほか、プロセス・設計・デバイス技術の解説、開発例をまとめる。
ISBN 978-4-7813-0496-0

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