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EUV光源の開発と応用 貸出可

豊田 浩一／監修 -- シーエムシー出版 -- 2013.3 -- 549.95 ／549.95

https://www2.tosyo-saga.jp/kentosyo2/opac/switch-detail.do?bibid=1101617489

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所蔵

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
県立（本館）	新庫２層	/549.9/I21/	115222168	一般図書	利用可	在架

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資料詳細

タイトル	EUV光源の開発と応用
叢書名	エレクトロニクスシリーズ
著者	豊田 浩一 ／監修, 岡崎 信次 ／監修
出版者	シーエムシー出版
出版年	2013.3
ページ数	6,273p
大きさ	26cm
一般件名	紫外線 , リソグラフィー
NDC分類	549.95 ／ 549.95
内容紹介	EUV露光装置の特質、露光装置側から見たEUV光源開発の課題、マスクの状況、レジスト材料の課題など、それぞれ専門的な開発事項についてより広い視点で解説。
ISBN	978-4-7813-0709-1

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