豊田 浩一/監修 -- シーエムシー出版 -- 2013.3 -- 549.95 /549.95


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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
県立(本館) 新庫2層 /549.9/I21/ 115222168 一般図書 利用可 在架 iLisvirtual

資料詳細

タイトル EUV光源の開発と応用
叢書名 エレクトロニクスシリーズ
著者 豊田 浩一 /監修, 岡崎 信次 /監修  
出版者 シーエムシー出版
出版年 2013.3
ページ数 6,273p
大きさ 26cm
一般件名 紫外線 , リソグラフィー
NDC分類 549.95 / 549.95
内容紹介 EUV露光装置の特質、露光装置側から見たEUV光源開発の課題、マスクの状況、レジスト材料の課題など、それぞれ専門的な開発事項についてより広い視点で解説。
ISBN 978-4-7813-0709-1

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