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薄膜工学 　

日本学術振興会薄膜第131委員会／編集企画 -- 丸善出版 -- 2016.11 -- 549.8 ／549.8

https://www2.tosyo-saga.jp/kentosyo2/opac/switch-detail.do?bibid=1101981952

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所蔵

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料コード	資料区分	帯出区分	状態
県立（本館）	新庫２層	/549.8/Y86/	115713380	一般図書	利用可	在架

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資料詳細

タイトル	薄膜工学
著者	日本学術振興会薄膜第131委員会 ／編集企画, 金原 粲 ／監修, 吉田 貞史 ／編著, 近藤 高志 ／編著
出版者	丸善出版
出版年	2016.11
ページ数	10,302p
大きさ	21cm
一般件名	薄膜
NDC分類	549.8 ／ 549.8
内容紹介	薄膜分野に携わる研究者・技術者に最適な、基本技術の解説書。薄膜工学の基礎から、薄膜作製法、評価法、薄膜の機能と応用までをまとめる。近年広がりをみせる薄膜技術に対応するため、大幅な改訂を行った第3版。
ISBN	978-4-621-30098-5

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