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半導体デバイスにおける界面制御技術 貸出可

大貫 仁／共著 -- 内田老鶴圃 -- 2021.4 -- 549.8 ／549.8


https://www2.tosyo-saga.jp/kentosyo2/opac/switch-detail.do?bibid=1102359674

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
県立（本館） 公開閲覧 /549.8/O68/ 116246224 一般図書 利用可 在架 iLisvirtual

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タイトル 半導体デバイスにおける界面制御技術
副書名 固体界面物性と計算機実験の基礎と応用
著者 大貫 仁 ／共著, 篠嶋 妥 ／共著, 永野 隆敏 ／共著, 稲見 隆 ／共著  
出版者 内田老鶴圃
出版年 2021.4
ページ数 8,244p
大きさ 21cm
一般件名 半導体 , 界面化学
NDC分類 549.8 ／ 549.8
内容紹介 半導体デバイスの今後の発展に重要となる界面創製技術の手引書。半導体デバイスの製造プロセス、半導体デバイスにおける材料界面の組織学、界面組織評価技術など、界面創製技術の基礎と応用を解説する。
ISBN 978-4-7536-5050-7

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